Componente de vid la temperatură ridicată
Tratamentul termic include în principal procese de oxidare, difuzie și recoacere.Oxidarea este un proces aditiv în care plachetele de siliciu sunt plasate într-un cuptor cu temperatură înaltă și se adaugă oxigen pentru a reacționa cu ele pentru a forma silice pe suprafața plachetei.Difuzia este de a muta substanțele din zona de concentrație mare în regiunea de concentrație scăzută prin mișcarea termică moleculară, iar procesul de difuzie poate fi utilizat pentru a dopa substanțe dopante specifice în substratul de siliciu, modificând astfel conductivitatea semiconductorilor.
